Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces

de Jean-Claude Sabonnadière (auteur), Michel De Labachelerie (auteur), René Le Doeuff (auteur), Jean-Pierre GOURE (auteur), Jean-Louis Aucouturier (auteur), Joseph Borel (auteur), De Labachelerie Michel (auteur), René Castagné (auteur)
Maison d'édition : Hermés science
Collection : Microsystèmes
mai 2004
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105,00 €

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Résumé

Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de microm

Caractéristiques

Collection : Microsystèmes

Auteur(s) : Jean-Claude Sabonnadière, Michel De Labachelerie, René Le Doeuff, Jean-Pierre GOURE, Jean-Louis Aucouturier, Joseph Borel, De Labachelerie Michel, René Castagné

Publication : 1 mai 2004

Édition : 1re édition

Intérieur : Couleur, Noir & blanc

Support(s) : eBook [PDF], eBook

Contenu(s) : PDF

Protection(s) : Marquage social (PDF)

Taille(s) : 8,36 Mo (PDF)

Langue(s) : Français

Code(s) CLIL : 3051

EAN13 eBook [PDF] : 9782746227071

EAN13 (papier) : 9782746208179

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