Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de microm
Collection : Microsystèmes
Publication : 1 mai 2004
Edition : 1ère édition
Intérieur : Couleur, Noir & blanc
Support(s) : eBook [PDF], Contenu téléchargeable [PDF]
Contenu(s) : PDF
Protection(s) : Marquage social (PDF)
Taille(s) : 8,36 Mo (PDF)
Langue(s) : Français
Code(s) CLIL : 3051
EAN13 eBook [PDF] : 9782746227071
EAN13 (papier) : 9782746208179