Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces

Name: Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces
Brand: Hermès Science
SKU: 9782746227071
Price: 105.0 EUR
Availability: InStock
ISBN: 978-2-746-22707-1

de Jean-Claude Sabonnadière (auteur), Michel De Labachelerie (auteur), René Le Doeuff (auteur), Jean-Pierre GOURE (auteur), Jean-Louis Aucouturier (auteur), Joseph Borel (auteur), De Labachelerie Michel (auteur), René Castagné (auteur)

Maison d'édition : Hermès Science

Collection : Microsystèmes

mai 2004

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105,00 €

Résumé

Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de microm

Caractéristiques

Collection : Microsystèmes

Auteur(s) : Jean-Claude Sabonnadière, Michel De Labachelerie, René Le Doeuff, Jean-Pierre GOURE, Jean-Louis Aucouturier, Joseph Borel, De Labachelerie Michel, René Castagné

Publication : 1 mai 2004

Edition : 1^ère édition

Intérieur : Couleur, Noir & blanc

Support(s) : eBook [PDF], Contenu téléchargeable [PDF]

Contenu(s) : PDF

Protection(s) : Marquage social (PDF)

Taille(s) : 8,36 Mo (PDF)

Langue(s) : Français

Code(s) CLIL : 3051

EAN13 eBook [PDF] : 9782746227071

EAN13 (papier) : 9782746208179