Lavoisier Lavoisier Lavoisier Lavoisier

Résumé

Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de microm

Sommaire

Introduction : le panorama des techniques de microfabrication -M. De Labachelerie. Les techniques de photolithographie -N. Fabre, V. Conédéra. Les dépôts en couches minces -W. Daniau, L. Robert. Dépôts en phase liquide : application aux microtechniques -S. Basrour. Dépôts de polymères -P. Jolinat. La gravure humide des couches minces -J.-P. Gilles, J.-P. Grandchamp. La gravure sèche des couches minces -J.-P. Grandchamp, J.-P. Gilles. Procédés d'usinage de surface sur silicium -L. Buchaillot, D. Collard, V. Agache, O. Millet. Méthodes et techniques de caractérisation mécanique des couches minces et des dispositifs microélectromécaniques -A. Bosseboeuf, M. Dupeux. Index.

Caractéristiques

Editeur : Hermes Science

Auteur(s) : Jean-Claude Sabonnadiere, Jean-Pierre GOURE, René Le Doeuff, Jean-Louis Aucouturier, Joseph Borel, René Castagné, Michel De Labachelerie, De Labachelerie Michel

Collection : Microsystèmes

Publication : 1 mai 2004

Edition : 1ère édition

Intérieur : Couleur, Noir & blanc

Support(s) : eBook [PDF], Contenu téléchargeable [PDF], Text (eye-readable) [PDF]

Contenu(s) : PDF

Protection(s) : Marquage social (PDF)

Taille(s) : 8,4 Mo (PDF)

Langue(s) : Français

Code(s) CLIL : 3069, 3051

EAN13 eBook [PDF] : 9782746227071

EAN13 (papier) : 9782746208179

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