Techniques de fabrication des microsystèmes 2 : Systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs

de Jean-Claude Sabonnadière (auteur), Michel De Labachelerie (auteur), René Le Doeuff (auteur), Jean-Pierre GOURE (auteur), Jean-Louis Aucouturier (auteur), Joseph Borel (auteur), De Labachelerie Michel (auteur), René Castagné (auteur)
Maison d'édition : Hermés science
Collection : Microsystèmes
mai 2004
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105,00 €

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Résumé

Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques épaisses , inhabituelles dans le domaine de la microélectronique. La photolithographie utilisant des ré

Caractéristiques

Collection : Microsystèmes

Auteur(s) : Jean-Claude Sabonnadière, Michel De Labachelerie, René Le Doeuff, Jean-Pierre GOURE, Jean-Louis Aucouturier, Joseph Borel, De Labachelerie Michel, René Castagné

Publication : 1 mai 2004

Édition : 1re édition

Intérieur : Couleur, Noir & blanc

Support(s) : eBook [PDF], eBook

Contenu(s) : PDF

Protection(s) : Marquage social (PDF)

Taille(s) : 7,7 Mo (PDF)

Langue(s) : Français

Code(s) CLIL : 3051

EAN13 eBook [PDF] : 9782746227064

EAN13 (papier) : 9782746208186

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