Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques épaisses , inhabituelles dans le domaine de la microélectronique. La photolithographie utilisant des ré
Collection : Microsystèmes
Publication : 1 mai 2004
Edition : 1ère édition
Intérieur : Couleur, Noir & blanc
Support(s) : eBook [PDF], Contenu téléchargeable [PDF]
Contenu(s) : PDF
Protection(s) : Marquage social (PDF)
Taille(s) : 7,7 Mo (PDF)
Langue(s) : Français
Code(s) CLIL : 3051
EAN13 eBook [PDF] : 9782746227064
EAN13 (papier) : 9782746208186