Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques épaisses , inhabituelles dans le domaine de la microélectronique. La photolithographie utilisant des ré
Editeur : Hermes Science
Collection : Microsystèmes
Publication : 1 mai 2004
Edition : 1ère édition
Intérieur : Couleur, Noir & blanc
Support(s) : eBook [PDF], Text (eye-readable) [PDF], Contenu téléchargeable [PDF]
Contenu(s) : PDF
Protection(s) : Marquage social (PDF)
Taille(s) : 7,7 Mo (PDF)
Langue(s) : Français
Code(s) CLIL : 3051
EAN13 eBook [PDF] : 9782746227064
EAN13 (papier) : 9782746208186
Jean-Claude Sabonnadiere, Blanco Sylvie
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